고순도 산업용 등급 NF3 삼불화질소 가스 99.996% 반도체 산업 에칭 가스 중국 특수 가스 가격

Overview

기본 정보

도트 클래스	2.2 및 5.1
숫자	그리고 2451
실린더 표준	도트/ISO/GB
실린더 압력	15MPa/20MPa
판막	디스640
밀도	2.96kg/M3
분자 무게	146.05
녹는 점	-206.79℃
모습	무색, 무취
비점	-129.0℃
운송 패키지	47리터, 440리터
사양	99.996%
등록 상표	공백
기원	중국
HS 코드	28129011
생산 능력	5000톤/년

제품 설명

제품 설명

삼불화질소는 실온에서 무색, 무취의 안정적인 기체이며 강력한 산화제입니다.
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명세서	회사 표준
NF3	≥ 99.996%
CF4	20ppm 이하
N2	5ppm 이하
O2+AR	3ppm 이하
콜로라도	1ppm 이하
CO2	≤ 0.5ppm
N2O	1ppm 이하
SF6	2ppm 이하
수분	1ppm 이하
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