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SK하이닉스, 반도체 생산용 네온가스 국산화

Jun 05, 2023

SK하이닉스가 국내 기업 최초로 반도체 생산에 필수 원료인 네온가스를 국산화했다고 5일 밝혔다.

회사는 2024년까지 국산화 네온가스 사용률을 100%까지 높일 계획이다.

SK하이닉스는 반도체 생산용 가스를 생산하는 TEMC, 포스코와 협력해 네온가스 생산 방안을 찾았다고 설명했다. 지금까지 국내 반도체 업체들은 지난 몇 년간 네온을 전량 수입에 의존해 왔다. 지난 몇 년간 해외 주요 생산지역의 불안정한 상황으로 인해 네온가스 공급이 불안정해질 위험이 있어왔습니다.

SK하이닉스는 TEMC, 포스코와 손잡고 기존 설비를 활용해 저렴한 비용으로 네온을 생산하는 방법을 개발했다.

네온은 반도체 리소그래피 공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 엑시머 레이저 가스는 자외선이며 파장이 매우 짧은 엑시머 레이저를 생성합니다. 엑시머 레이저는 웨이퍼에 미세한 회로를 새기는 데 사용됩니다. 네온은 엑시머 레이저 가스의 95%를 차지하지만, 공기 중에는 0.00182%밖에 없는 희귀한 자원이다.

네온가스는 포스코에서 생산하고 TEMC에서 가공한 뒤 SK하이닉스에 공급된다.

SK하이닉스는 올해 4월 반도체 노광 공정에 국산 네온을 도입했다. 네온 사용량의 40%를 국산 네온으로 대체했으며, 2024년까지 그 비율을 100%까지 높일 계획이다.

마이클 허